第71章 光学镜组

    星辰光刻光学实验室,无尘车间的灯光白得刺眼。

    陈院士戴着白色防尘帽,手里的数据报告翻了一页,眉头拧成了疙瘩。

    "三号镜的粗糙度,又卡在0.32纳米了。"他把报告拍在桌上,"就差0.02,死活下不去。"

    周围几个材料所的研究员,你看我我看你,谁也没敢接话。

    "陈院士,"一个年轻研究员小声说,"要不……先按0.32验收?0.3纳米的目标,差这0.02,国际上也不是完全不能……"

    "不行!"陈院士直接打断他,"0.5纳米的芯片制程,光学镜组的粗糙度必须压到0.3纳米以下。差0.02,良率就得掉一个档次。这是国产EUV的脊梁骨,宁可慢,不能糊弄!"

    实验室里,气氛有些凝重。

    苏宇推门进来时,看到的正是这一幕。

    "卡在镀膜工艺上了?"他问。

    陈院士抬头,摘下眼镜揉了揉眼:"不是镀膜,是抛光。极紫外光用的反射镜,跟普通光学镜不一样——要在基底上镀一百多层钼硅薄膜,每一层的厚度都要精确到原子级。镀膜工艺咱们三个月前就攻下来了,难的是最后的抛光。"

    "镜面粗糙度要做到0.3纳米以下,每往下压一纳米,难度都是指数级往上翻。材料所的老教授们,为这一道工序熬了不知多少个通宵,好不容易把核心工艺啃下来了——"

    "但是?"

    "但是验收设备。"陈院士苦笑,"高精度的干涉仪,全球只有漂亮国艾戈系统公司能产。咱们从下单到验收,全流程都得过他们的手。"

    他顿了顿,声音沉了下来:"苏总,就在刚才,艾戈那边发来通知——受漂亮国商务部管制令影响,三台纳米级干涉仪的出口许可,被无限期冻结了。"

    实验室里,一片死寂。

    "检测设备被卡了?"

    "没有干涉仪,镜面粗糙度拿什么验?这不是等于造了个东西,没尺子量吗?"

    "艾戈的干涉仪……这是掐准了节点来的啊。"

    几个工程师低声议论,脸色都不太好看。

    苏宇的眼底,掠过一丝冷光。

    "好一个芯片联盟。"他轻声说,"前脚在大会被我掀了桌子,后脚就把刀架到检测设备上了。"

    "苏总,"陈院士叹了口气,"没有干涉仪,镜组的数据就立不住。就算我们自己觉得没问题,国际上也不认这个数。芯片联盟这步棋,是要把咱们的光学系统,堵死在实验室里。"

    "更何况——"他压低声音,"光刻机的反射镜,加工到0.3纳米是第一步。后面还要做表面原子级修复、多层膜应力控制。每一步,都离不开高精度的检测手段。艾戈一断供,整个光学系统的后续工序,全得趴窝。"

    苏宇没有接话。

    他闭上眼睛,意识沉入脑海。

    "系统。"

    "叮!宿主权限:2.5级。当前可检索图纸库范围:高级未来科技图纸库、量子芯片全套技术图纸、EUV光刻机全套技术图纸。"

    "检索——纳米级镜面检测方案。"

    图纸库里,海量数据如瀑布般滚落。

    光刻机的检测技术,从来不止干涉仪一条路。

    量子测量、散射光检测、原子力显微……无数条技术路径,在苏宇的意识里铺开。

    最后,他停在了一页图纸前。

    "叮!检索完成——【量子干涉测量方案】。基于量子纠缠态的纳米级无接触测量,精度可达0.05纳米,为传统干涉仪精度的六倍。判定:当前图纸库可完整实现,需量子芯片级精密控制单元配合。"

    苏宇猛地睁开了眼。

    "陈院士,"他说,"干涉仪的事,我来解决。"

    "苏总?"

    "漂亮国不卖尺子,咱们就造一把——比他们更好的尺子。"

    他转身往外走,边走边掏出手机:"我马上联系楚冰。她那边有量子芯片的产线,正好能造这方案里最核心的控制单元。"

    "量子测量?!"陈院士一愣,追上来两步,"苏总,你是说……用量子纠缠来做镜面检测?"

    "对。"苏宇停下脚步,回头看他,"镜面粗糙度0.3纳米,传统干涉仪的光学分辨率已经摸到天花板。可量子纠缠态没有这个限制——精度上,我们直接比艾戈高一个量级。"

    "这……"陈院士眼睛亮了,"这理论,我们材料所里也有老教授讨论过!只是谁也没想到能落地!苏总,你手里真有这套方案?"

    "图纸在我脑子里。"苏宇笑了笑,"今晚,我出图。明天一早,楚冰带人过来对接。"

    当晚,星辰光刻会议室,灯火通明。

    苏宇把系统图纸里【量子干涉测量方案】的关键参数,一条条誊到白板上。楚冰坐在他旁边,一双美目扫过那些密密麻麻的数据,越看越心惊。

    "这个方案,"她抬起头,声音里带着一丝难以置信,"控制单元要用到量子芯片的纠缠态保持电路——理论上,咱们冰芯二号刚刚流片成功的芯片,正好够用。"

    "所以我说,这是天时地利。"苏宇在白板上画下一个框架图,"测量头做无接触悬置,靠量子纠缠态传递干涉信号。镜面反射回来的每一组光子数据,都在纠缠态里做过比对——粗糙度差多少,0.05纳米的精度,看得清清楚楚。"

    "苏总,"楚冰忽然盯着他,"你老实说,这套方案,你是从哪儿来的?"

    苏宇手里的笔微微一顿。

    "跟光刻机的图纸一样。"他抬起头,目光坦荡,"一个只有我能看见的宝库。"

    楚冰看了他三秒,忽然轻轻笑了:"行,我不追问。反正——你的秘密越多,我越放心。"

    "我的男人,藏的东西越多,底牌越厚。"

    苏宇心头一暖。他刚想说什么,门口传来一声爽朗的笑。

    "苏总,你这会议室,藏的东西可不少啊。"

    何院士穿着一件半旧的工装,手里拎着个工具箱,笑呵呵地走了进来。他是被苏宇连夜请来的。

    "何老,您来了。"苏宇迎上去,"坐,正说到关键处。"

    "不用坐,先看方案。"何院士把工具箱往桌上一放,凑到白板前,眯着眼看了半天,"量子干涉测量……有意思。控制单元用冰芯的量子芯片,测量头做成悬置式……路子是对的。"

    "但苏总,"他直起腰,目光锐利,"这套方案有个硬门槛——测量基准的稳定性。温度、振动、气流,任何扰动都会破坏纠缠态。量子测量头的精度再高,脚下不稳,数据全是废的。"

    "咱们需要一套足够稳的基准台。"苏宇说。

    何院士笑了。

    他从工具箱里抽出一叠泛黄的图纸,摊在桌上。

    "基准台?"他拍了拍那叠纸,"苏总,你忘了?二十年前那套封存的基准台方案——就是为了这种极限测量准备的。"

    会议室里,几个人同时一愣。

    "二十年前的方案?"楚冰问。

    "对。"何院士的眼里,浮起一丝感慨,"当年咱们国家搞光刻机预研,我带团队设计过一套超高精度的测量基准台。结构、材料、隔振方案,全是我带着一帮学生一点点抠出来的。精度理论上能做到0.01纳米级——放到现在,也不输漂亮国最顶尖的水平。"

    "那为什么封存了?"苏宇问。

    "没芯片。"何院士叹了口气,"那套基准台,需要极高算力的控制单元实时补偿热漂移。二十年前,咱们没有那个芯片。没有芯片,基准台就是一堆铁疙瘩,精度跑不出来。"

    "可现在——"他看向苏宇,目光灼灼,"你的量子芯片有了,我的基准台图纸也有了。"

    "这叫什么呢?"他哈哈大笑,"天作之合!"

    会议室里,气氛骤然热了起来。

    "何老,"苏宇郑重地伸出手,"这套基准台,能不能在十天内,从图纸变成实物?"

    "十天?"何院士挑眉,"苏总,你这是小瞧我何某人。我的图纸,我的老伙计——国家精密仪器研究院那帮人,三天之内,我把基准台的零件给你车出来。剩下七天,装调校。"

    "好。"苏宇的拳头,轻轻落在桌上,"那就这么说定了。"

    第二天,两线并进。

    何院士带着基准台的图纸回了京城,国家精密仪器研究院连夜排产。

    苏宇这边,则把量子测量方案的核心部分拆给王磊,让他组织软件组开发控制程序。

    三天后,两拨人在星辰光刻新搭建的检测实验室里会师。

    一台通体银白的测量装置立在防震基座上,四周罩着透明的恒温罩。装置的一侧,连接着冰芯二号送来的量子芯片控制单元。

    何院士亲手拧上最后一颗螺丝,直起腰,长长吐出一口气。

    "合体了。"他说,"量子测量头,基准台,控制单元——三大件全部就位。"

    "何老,"苏宇站在他身后,"剩下的,就看这一哆嗦了。"

    "开始吧。"陈院士也到了,他抱着一块刚刚抛光完成的三号镜,小心翼翼放到测量台上,"就验这块——三号镜,目标粗糙度0.3纳米。"

    所有人屏住呼吸。

    何院士按下启动键。

    装置内部,一道幽蓝色的光一闪而过。量子芯片上的指示灯次第亮起,控制屏上的数据流开始滚动。

    三秒。

    五秒。

    十秒。

    "叮!"的一声轻响。

    控制屏上,跳出一行数字——

    "三号镜面粗糙度:0.27纳米。"

    实验室里,安静了整整三秒。

    "0.27!"陈院士的声音一下子拔高,"0.27纳米!比0.3的目标还低了0.03!过了!过了!"

    "成了!"

    "量子测量方案跑通了!"

    "0.05纳米的精度……比艾戈的干涉仪还高一个量级!"

    实验室里,欢呼声几乎要掀翻屋顶。

    陈院士抱着那块银亮的镜片,手都在抖:"三号镜是整组镜片里最难的一块。它过了,后面几块,全都是同一个工艺路线——全都能过!"

    "光学镜组,齐了!"

    苏宇看着那块在灯光下泛着幽蓝光泽的镜片,嘴角微微上扬。

    漂亮国的检测设备封锁,堵得住别人,堵不住他苏宇。

    他伸手,轻轻抚过那台银白色的量子测量装置。

    "艾戈公司,"他轻声说,"你们以为断一台干涉仪,就能卡死我的光学系统?"

    "不好意思。"

    "我连尺子,都是自己造的。"

    "苏总!"王磊的手机忽然响了,他接起来,脸色微变,"光源组那边传来的消息——张工说,光源的量产级迭代,又出问题了。"

    "功率?"

    "连续运行功率,始终卡在五百瓦上不去。"王磊说,"再往上推,锡滴污染就压不住,镜面镀层烧损……恶性循环。"

    苏宇的目光,沉了沉。

    光学这关刚过,光源这关又卡住了。

    "四大模块,光源是最后一个硬骨头。"他轻声说,"王磊,通知光源组——今晚,我过去。"(记住本站网址,Www.WX52.info,方便下次阅读,或且百度输入“ xs52 ”,就能进入本站)
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