第一千六百六十七章 光刻胶的国产突围

    “炉温到一百八十,别急着升。”

    伊万站在哈尔滨研发中心的炉门旁,手里夹着一块沾满树脂的玻璃片,脸上两天没刮的胡茬扎在灯光下,眼睛盯着记录表,没有去管身后谁在走动。

    陈守仁握着秒表。

    “第一组胶层已经排气,温度继续上升。”

    “继续。”

    高桥把一张曲线图推到他面前。

    “二百六十度后会起泡。”

    “你看过结果?”

    “我看过配方。”

    “配方不会说话,炉子才会。”

    “这一炉用的是松菱原料。”

    “你怀疑我的比例?”

    高桥把笔搁在桌边。

    “我怀疑溶剂。”

    方志远从控制台旁抬头。

    “二号传感器比三号低了七度,程序已经补偿。”

    伊万回头看他。

    “别补偿。”

    “温度会偏。”

    “传感器偏,炉温没偏,程序一补,胶层会提前失水。”

    “你确定?”

    “你要是不信,等它把晶圆烧黑。”

    陈守仁抬手。

    “停一秒,先把二号探头换掉。”

    “换探头会耽误升温。”

    “换探头能知道炉子究竟烧到哪儿。”

    伊万把玻璃片贴到灯下。

    “你们中国人做材料,胆子小。”

    陈守仁把工具箱拉到身边。

    “你们苏联人做实验,设备少。”

    “设备少,所以每一台都得听话。”

    “设备听不听话,取决于谁在操作。”

    高桥把手套摘下来,扔到桌上。

    “你们要吵出去吵,炉里的片子再撑三十秒就废。”

    李山河推门进来,手里带着一只搪瓷缸。

    “谁要吵?”

    陈守仁转身。

    “伊万说高桥配的溶剂会让胶层起泡。”

    高桥接话。

    “我说他的树脂比例太激进。”

    伊万指着炉门。

    “这批片子一旦开炉,先看胶层,别看你们的脸。”

    彪子跟在李山河身后,抱着两袋面包。

    “俺给你们送饭,谁饿了先吃,别把肚子饿坏了拿炉子撒气。”

    伊万接过面包,看了看包装。

    “里面是什么?”

    “列巴。”

    “我要二锅头。”

    “白天没有。”

    “那我不吃。”

    李山河把搪瓷缸放到他手边。

    “这是热水。”

    伊万抬眼。

    “你答应过每天一瓶。”

    “你昨天喝了两瓶。”

    “昨天是昨天。”

    “今天你把第一组跑完,晚上给你一瓶。”

    伊万指着炉子。

    “我要两瓶。”

    “合格一瓶,失败半瓶。”

    “你把酒当奖励?”

    “你把材料当命,我把酒当成本。”

    彪子咧嘴。

    “二叔,俺咋觉着你俩谈得挺投机。”

    李山河看了他一眼。

    “你去食堂,把孟老的药膳饮品送给夜班工人。”

    “俺也去看芯片。”

    “你看不懂。”

    “俺看它黑不黑,总能看懂。”

    “那你去看黑不黑。”

    彪子抱着面包走了,嘴里还在嘀咕。

    炉内曲线升到二百四十度,记录笔在纸上划出一条弯线,胶层边缘没有起泡,陈守仁把脸凑近观察窗。

    “边缘还在。”

    伊万伸手。

    “把样片取出来。”

    “还没到冷却阶段。”

    “取一片。”

    高桥用夹具取出样片,放在金属台上,伊万拿起放大镜,刮了一下胶层。

    “附着力不够。”

    陈守仁接过样片。

    “线路没断。”

    “冷却后会裂。”

    高桥拿起玻璃片折了折。

    “裂纹在边缘。”

    “那就是溶剂挥发太快。”

    “你刚才还说溶剂没问题。”

    “我现在改主意了。”

    陈守仁把样片递给方志远。

    “记录,第一组失败,树脂合格,溶剂比例需要调整。”

    伊万看向他。

    “你说失败?”

    “裂了就是失败。”

    “线路还通着。”

    “芯片要在设备里跑半年,不是让你拿着样片看半天。”

    伊万把玻璃片放下。

    “再做。”

    “材料只够三组。”

    “那就做三组。”

    李山河接过记录表。

    “材料不够,我已经让宋子文从港岛调一批树脂。”

    高桥抬头。

    “日本供应商不会发货。”

    “没让日本人发。”

    “从哪里来?”

    “乌法。”

    伊万拿过电报纸。

    “乌法的军用涂层研究所?”

    “谢尔盖耶夫已经把人叫起来了,材料今晚发车。”

    “他们没有做过光刻胶。”

    “他们做过高温涂层。”

    “用途不同。”

    “所以才让你们三个一起做。”

    陈守仁看着李山河。

    “李总,半个月够吗?”

    “你要多久?”

    “如果材料稳定,三天能出小样,十天能跑封装,半个月能知道能不能量产。”

    “那就半个月。”

    高桥皱着眉。

    “我们每天只睡四个小时。”

    “你们每天睡六个小时,剩下时间炉子也不能停。”

    伊万抓起记录表。

    “我睡三个小时。”

    陈守仁抬头。

    “没人要求你学牲口。”

    “牲口不用做实验。”

    “人也不能一直不睡。”

    李山河敲了敲桌面。

    “每十二小时换班,谁擅自熬夜,第二天停工。”

    伊万把表格揉成一团。

    “我不接受。”

    “那你回北风三号。”

    “你赶我?”

    “哈尔滨有规矩。”

    “规矩会让材料变好吗?”

    “规矩能让你活着看到材料变好。”

    伊万望着他。

    “你和那些官员不一样。”

    “少夸我。”

    “我没夸你,我在判断。”

    “判断完了就去改配方。”

    第一周过去,三组材料全部失败。

    第一组冷却后裂纹密布,第二组升温时起泡,第三组附着力合格,线路却在二百九十度时断开。

    陈守仁把检测报告拍在桌上。

    “胶层能撑,线路撑不住,载体材料膨胀系数不匹配。”

    高桥接过报告。

    “问题回到晶圆底材。”

    伊万把一只螺丝拧进反应釜外壳。

    “把树脂再改硬,胶层会更脆。”

    方志远在黑板上写下几组温度数值。

    “控制程序可以把升温分成六段,降低热冲击。”

    “程序能调热,调不了材料。”

    “材料能改,程序也得跟上。”

    “你们中国人总想把所有问题塞进程序。”

    方志远转身看他。

    “程序至少不会把同一批材料烧三次。”

    伊万抬手把扳手砸在桌面上。

    啪!

    房间里的人都停了手。

    李山河从门口走进来,捡起扳手放回桌上。

    “谁砸坏东西,谁赔。”

    伊万盯着他。

    “他们不懂材料。”

    “你也不懂控制程序。”

    “我懂炉子。”

    “炉子听谁的?”

    伊万没有回答。

    李山河把三张检测报告摊开。

    “你们继续吵,外面的人就会继续等,富士通等着我们缺芯片,东亚化成等着我们回头求他们,山河通信的订单等着交货。”

    陈守仁拿起第三组样片。

    “我建议换底材。”

    高桥摇头。

    “现有晶圆不能换,KM155的基底尺寸已经定了。”

    方志远盯着曲线。

    “那就换封装温度,先让芯片避开最高温段。”

    伊万拿起一块废片。

    “避开高温,材料永远过不了高温测试。”

    李山河看向他。

    “你有办法?”

    “把底材表面做一层过渡膜。”

    高桥立即问。

    “用什么?”

    “军用涂层里的硅氧烷。”

    陈守仁皱眉。

    “会影响线路刻蚀。”

    “先薄涂,再做等离子清洗。”

    方志远接话。

    “程序增加预热停留,给过渡膜释放时间。”

    高桥拿起笔。

    “我去改电源曲线。”

    陈守仁抱起样片。

    “我去重做底材。”

    方志远转身打开控制柜。

    “我改程序。”

    李山河看向伊万。

    “你呢?”

    “我要一瓶酒。”

    “干完活给你。”

    “现在要。”

    “先干活。”

    伊万抄起白大褂披在身上。

    “那就两瓶。”

    半个月里的第十三天,第四炉从清晨烧到夜里。

    炉温升到三百度,记录笔贴着纸面移动,曲线没有乱跳,观察窗里的晶圆边缘保持平整。

    陈守仁盯着检测屏。

    “线路还在。”

    高桥把手搭在电源柜上。

    “电流稳定。”

    方志远盯着程序界面。

    “温度补偿没有介入。”

    伊万拿着夹具守在炉门旁。

    “继续升温。”

    陈守仁抬头。

    “三百二十度已经超过测试上限。”

    “继续。”

    李山河站在记录台边。

    “升。”

    炉温数字一路跳到三百四十,晶圆表面泛出细白的光,胶层没有起泡,边缘也没有卷曲。

    高桥把手里的笔放下。

    “可以开炉了。”

    伊万摇头。

    “再等五分钟。”

    “你想把它烧坏?”

    “我想知道它能撑多久。”

    陈守仁盯着他。

    “材料测试要按流程来。”

    “流程是人定的。”

    “结果也得让人认。”

    李山河抬手。

    “再等五分钟。”

    伊万看了他一眼,回头盯住炉内。

    五分钟后,电源切断,炉门拉开,热气冲过走廊,陈守仁用夹具取出晶圆,边缘完整,表面没有裂纹。

    方志远把晶圆放进测试座。

    灯光亮起,第一组线路导通,第二组线路导通,整片芯片的逻辑信号沿着测试板跑了一圈。

    滴,滴,滴。

    高桥抓住记录纸。

    “数据稳定。”

    陈守仁把测试针移到另一组触点。

    “再测一遍。”

    “已经测了三遍。”

    “再测。”

    第三遍结果没有变化。

    伊万伸手拿过检测表,从头读到尾,抬起头时,眼里的疲倦压不住了。

    “这只是小样。”

    “可它活着。”

    “还要做大样。”

    李山河从桌下拎出两瓶二锅头,放到他面前。

    “你的酒。”

    伊万抱起酒瓶,没有立刻打开。

    “配方署名怎么写?”

    “中方负责工艺统筹,苏方负责树脂体系,日方负责电源和设备适配。”

    “我的名字排第二?”

    “你想排第一?”

    伊万把瓶盖拧开。

    “我排第二。”

    高桥伸手拿起另一瓶。

    “我也要一杯。”

    伊万看向他。

    “你会喝?”

    “我喝过威士忌。”

    “那不算酒。”

    陈守仁把搪瓷缸推过去。

    “先把这一炉数据写完,晚上再喝。”

    伊万接过缸子。

    “陈,你像个管教犯人的老头。”

    “你像个拆房子的野人。”

    方志远在旁边笑出声。

    高桥也把嘴角抬了起来。

    李山河拿起那片合格晶圆,放进透明盒。

    “这批材料命名为山河一号光刻胶,马上做三班连续测试,陈守仁负责量产参数,高桥负责电源和设备改造,方志远负责封装控制程序,伊万负责配方。”

    “我要自己的实验间。”

    “给你。”

    “门要能锁。”

    “给你。”

    “钥匙只能有两把。”

    “你一把,我一把。”

    “第三把呢?”

    “陈守仁保管。”

    伊万看着他。

    “你不信我?”

    “我信你会把实验室烧了。”

    伊万喝了一口酒。

    “那你还让我来?”

    “因为你能把它做出来。”

    研发楼外,韩建国抱着一摞文件跑进来。

    “李总,刚收到的电报。”

    “说什么?”

    “东亚化成停止供应,富士通向邮电部递交了新的投诉,指山河通信使用了未经授权的封装工艺。”

    李山河接过电报,看完递给陈守仁。

    “他们动作倒快。”

    伊万把酒瓶放到桌上。

    “日本人要来抢配方?”

    “他们会先告我们,再买我们,最后想办法让我们买不到设备。”

    “那就把配方卖给他们。”

    高桥脸色变了。

    “你疯了?”

    伊万抬头。

    “卖一份给他们,换十份原料。”

    李山河看着他。

    “山河一号不卖。”

    伊万举起酒瓶。

    “那就让他们看着我们做第二号。”(记住本站网址,Www.WX52.info,方便下次阅读,或且百度输入“ xs52 ”,就能进入本站)
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